光学微电子净化工程目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医1药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。是将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给于特别设计之密闭空间。
十万级无尘车间的监测
1、无尘车间系统的监测主要是过滤器的更换周期，还有无尘车间对环境的湿度、温度、新鲜空气量、状态、照度等都有严格的规定，保证了产品的生产质量和人员工作环境的舒适。
2、整个无尘车间系统配有一套采用初效、中效、过滤器的三级空气净化系统，控制洁净区内尘粒数等。作为末端过滤装置过滤器决定着整个净化系统的运行效果，无尘车间装修因此对于过滤器的更换时间是非常重要的。
3、在无尘车间的装修里，无论是安装在净化空调机组末端的大风量空气过滤器还是安装在送风口的空气过滤器，这些必需要有准确性的运行时间记录和洁净度及风量作为更换依据，如在常态的使用情况下，过滤器的使用寿命可以长达一年以上。
洁净室应设型的人、货运物流安全通道。工作人员应按照规定的清洁程序流程进到，并应严控总数。针对原材料可在去除尘土后拆掉业务外包根据缓冲间或传送柜送进。不一样清洁级别的洁净区物件则根据不锈钢传递窗传输。正中间站宜建在中心部位，便于减少运输间距。清洁区域内不设与本职位不相干的管道。灵活运用左右或周边的技术性夹层，全部公共管道、加工工艺管道的主杆管均在技术性夹层安裝。穿越重生路面、隔断墙的管道尽量挨近应用点并铺设套管，套管内的管道不应有焊接，管道与套管中间应有可叉的密封性对策。进到洁净室的管道应是金属材质。
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